
Helios 5 UC双束扫描电镜是赛默飞第五代双束电镜旗舰产品,集成了扫描电子束(SEM)和聚焦离子束(FIB) 镜筒,专为材料科学、半导体等领域的高精度纳米加工与表征设计。该设备具备超高分辨离子束和电子束镜筒,可以实现30 kV下4.0 nm的离子束分辨率和1 kV下0.7 nm的电子束分辨率。设备以亚纳米分辨率成像、<10 nm的高加工精度及全自动化工作流程,重新定义了双束电镜的性能标准。可用于:SEM扫描电子显微镜结构分析;微纳结构加工,TEM透射电镜样品、原子探针样品制备。

Talos F200X 是一款高端场发射透射电子显微镜,融合扫描透射(STEM)与透射电子显微(TEM)双模式,专为纳米材料多维定量表征设计。采用 X-FEG超稳定高亮度电子枪,亮度达 1.8×109 A/cm2·srad,束流强度为传统肖特基枪的2倍以上。

Spectra 300是赛默飞第五代旗舰型透射电镜,集成了物镜与聚光镜双球差矫正器,可在透射(TEM)和扫描透射(STEM)模式下实现亚埃级分辨率(300 kV下≤50 pm)。配有高亮度肖特基场发射枪加单色器,能量分辨率可调(0.2 eV ~ 1 eV)。集成4探头STEM探测器,可同时采集明场(BF)、环形明场(ABF)、环形暗场(ADF)和高角度环形暗场(HAADF)图像,实时对比不同信号衬度。配有差分相位衬度专用四分割探头,可实现轻重元素同时成像(iDPC)并将材料内部电场分布(DPC)、电荷密度分布(dDPC)可视化。配有先进的Ceta 16M CMOS相机,视场大、读取速度达快 (最低曝光时间1 ms),支持各种原位观察实验。